Anordnung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators für die On-Wafer-Messung an integrierten Mikrowellenschaltungen

Abstract

Anordnung zum Kalibrieren eines Netzwerkanalysators für die On-Wafer-Messung an Mikrowellenschaltungen auf einer metallischen Grundplatte (1) einer Wafer-Meßeinrichtung mittels in koplanarer Leitungstechnik auf einem Kalibriersubstrat (12) ausgebildeten Kalibrierstandards (13, 14, 15), wobei das Kalibriersubstrat (12) im Abstand oberhalb der metallischen Grundplatte (1) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kalibriersubstrat (12) und metallischer Grundplatte (1) eine Luftkammer (3, 9) vorgesehen ist.

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    Patent Citations (5)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      DE-3912795-C2May 27, 1993Rohde & Schwarz Gmbh & Co Kg, 8000 Muenchen, De
      US-4871964-AOctober 03, 1989G. G. B. Industries, Inc.Integrated circuit probing apparatus
      US-4980636-ADecember 25, 1990The United States Of America As Represented By The Administrator, National Aeronautics And Space AdministrationUniversal nondestructive MM-wave integrated circuit test fixture
      US-4982164-AJanuary 01, 1991Rhode & Schwarz Gmbh & Co. K.G.Method of calibrating a network analyzer
      US-5539305-AJuly 23, 1996Botka; Julius K.Calibration board for an electronic circuit tester

    NO-Patent Citations (2)

      Title
      Burn-in/In Situ Testing of Computer Chips. In: IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol.36, No.03, March 1993, S.229-231
      WILLIAMS,Dylan, MARKS,Roger, PHILLIPS,Kurt: Pro- gress Toward MMIC On-Wafer Standards. In: 36th ARFTG Conference Digest, Princeton: David Sarnoff Research Center, Inc. Reprographic Services, 1991

    Cited By (0)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle